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關(guān)于超聲波掃描顯微鏡的知識(shí),你知道多少呢?

更新時(shí)間:2021-11-06      點(diǎn)擊次數(shù):1558
  超聲波掃描顯微鏡是利用回波信號(hào)對(duì)被檢測(cè)件的內(nèi)部結(jié)構(gòu)進(jìn)行成像并對(duì)缺陷的大小和位置進(jìn)行判定的設(shè)備。被廣泛用于各種半導(dǎo)體元器件、材料的失效分析、品質(zhì)管控、工藝開(kāi)發(fā)等, 和掃描電鏡、X-RAY 等互補(bǔ),共同提高用戶(hù)的缺陷檢測(cè)能力。
  超聲掃描顯微鏡主要利用高頻的超聲波(5MHz以上)檢測(cè)器件、材料內(nèi)部的缺陷位置、大小和分布狀態(tài)等,對(duì)粘接層面非常敏感,能檢測(cè)出氣孔、裂紋、夾雜和分層等缺陷,是以波形、圖形為顯示方式的一種無(wú)損檢測(cè)工具,可以保留在破壞性檢測(cè)中被丟失的細(xì)微缺陷,樣品通過(guò)檢測(cè)后可以繼續(xù)使用。主要應(yīng)用于失效分析、可靠性分析、制程控制、品質(zhì)控制,產(chǎn)品研發(fā)、工藝提升等。
  超聲掃描的檢測(cè)模式分為:反射掃描與透射掃描。透射掃描模式雖然無(wú)法確定被測(cè)器件內(nèi)部缺陷的深度位置,但可以比反射掃描模式更快捷,更方便地檢測(cè)器件內(nèi)部是否有缺陷,因而被許多半導(dǎo)體封裝企業(yè)在篩選產(chǎn)品時(shí)或與反射掃描交叉驗(yàn)證檢測(cè)到的是否為缺陷時(shí)所使用;但透射掃描圖像清晰度差,一直使客戶(hù)倍受困擾。
  超聲波掃描顯微鏡原理
  通過(guò)發(fā)射高頻超聲波傳遞到樣品內(nèi)部,在經(jīng)過(guò)兩種不同材質(zhì)之間界面時(shí),由于不同材質(zhì)的聲阻抗不同,對(duì)聲波的吸收和反射程度的不同,進(jìn)而采集的反射或者穿透的超聲波能量信息或者相位信息的變化來(lái)檢查樣品內(nèi)部出現(xiàn)的分層、裂縫或者空洞等缺陷。
  超聲波掃描顯微鏡測(cè)試分類(lèi):
  按接收信息模式可分為反射模式與透射模式。
  按掃描方式分可分為 C掃,B掃,X掃,Z掃,分焦距掃描,分頻率掃描等多種方式
  超聲波掃描顯微鏡的應(yīng)用領(lǐng)域
  半導(dǎo)體電子行業(yè):半導(dǎo)體晶圓片、封裝器件、大功率器件IGBT、紅外器件、光電傳感器件、SMT貼片器件、MEMS等;
  材料行業(yè):復(fù)合材料、鍍膜、電鍍、注塑、合金、超導(dǎo)材料、陶瓷、金屬焊接、摩擦界面等。
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